为什么晶圆不是方的? 。是啊,圆形的wafer里面方形的Die,总是不成预防有些空间浪费了?

由于造作工艺决定了它是圆形的。由于提纯过后的高纯度多晶硅是在一个子晶(seed)上旋转成长出来的。多晶硅被消融后放入一个坩埚(Quartz Crucible)中,再将子晶放入坩埚中匀速动弹并且向上提拉,则熔融的硅会沿着子晶向长成一个圆柱体的硅锭(ingot) 。这种步骤就是此刻一向在用的CZ法(Czochralski),也叫单晶直拉法。
而后硅锭在经过金刚线切割造成硅片:

在经过打磨等等处置后就能够进行后续的工序了(CPU造作的那些事之一:i7和i5其实是孪生兄弟?)单晶直拉法工艺中的旋转提拉决定了硅锭的圆柱型,从而决定晶圆是圆形的。
为什么后来又不圆了呢?
那为啥后来又不圆了呢?其实这个中央有个过程掠过了,那就是Flat/Notch Grinning。

它在硅锭做出来后就要进行了。在200mm以下的硅锭上是切割一个平角,叫做Flat。在200mm(含)以上硅锭上,为了削减浪费,只裁剪个圆形幼口,叫做Notch(参考资料2)。在切片后晶圆就造成了这样:

若是你仔细看我,你也会发现它其实是出缺一个幼豁口的。
为什么要这样做呢?这不是浪费吗?其实,这个幼豁口由于太靠近边缘并且很幼,在造作Die时是注定没有效的,这样做能够援手后续工序确定Wafer摆放地位,为了定位,也标了然单晶成长的晶向。定位设备可所以这样:这样切割啊,测试啊都比力方便。

结论
严格意思上所有的Wafer都不是圆形的。若是忽略Flat/Notch这些幼问题,那它的圆形是工艺决定的。
(文章起源:EDN 电子技术设计 )
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