蒸镀资料有好多种资料
，通常有金属、复合伙料和其他一些新型资料。一氧化硅也是常用的蒸镀资料之一
，目前一氧化硅蒸镀资料用于在食品、药品、医疗用品等的包装用薄膜资料上形成拥有良好阻气性的硅氧化物蒸镀膜
，出格是涉及能够有效造作前述蒸镀资料
，并且在薄膜资料上形成蒸镀膜时降低或预防产生飞溅景象
，能够形成高质量、高纯度的硅氧化物蒸镀膜的一氧化硅蒸镀资料及其造作步骤和造作装置。

另表
，对于药品、医疗用品
，必要以更高的尺度抑造内容物受到来自空气的传染、变质和劣化
，并且必要蒸镀膜自身达到不含不纯物的高纯度化。用于；ふ庑┦称贰⒁┢贰⒁搅朴闷返鹊陌坝米柿
，必要拥有阻止引起内容物氧化的各类气体透过的阻气性
，以往使用了例如在纸或高分子薄膜上拥有铝箔或铝蒸镀膜的包装资料。

如今
，在进行包装资料的再循环过程中
，为了再利用前述拥有铝箔或铝蒸镀膜的包装资料而必要进行金属与纸或树脂薄膜的分离
，因而必要开发由不必要分离回收的资料组成的包装资料。

例如
，在高分子薄膜上形成一氧化硅蒸镀膜的包装资料
，不仅能够只作为树脂薄膜回收处置
，并且一氧化硅蒸镀膜拥有良好的阻气性
，因而受到了器沉。这种包装资料是通过电阻加热蒸镀法或电子束加热蒸镀法使一氧化硅蒸镀资料升华
，将升华的气体蒸镀在高分子薄膜上造作的。