高纯金属靶材拥有超大尺寸、高密度、高纯金属靶材，高纯金属靶材是属于新型的离子溅射镀膜靶资料？煽矸豪糜谙允酒恋姆炊圆慊虻魃，笔记本电脑的装璜层、电池的封装、太阳能（光伏）电池的反对层，拥有很好市场远景和经济效益。

高纯金属靶材中的钨靶材重要用作金属层间的通孔和垂直接触的接触孔的填充物，即钨塞。而钨合金靶材，如WSi2，重要用在栅极多晶硅的上部作为多晶硅硅化物结构和部门互联线。随着半导体芯片尺寸越来越幼，铜互连尺寸的缩幼导致纳米尺度上电阻率的增长，这已成为造约半导体工业发展的一个技术瓶颈。有钻研批注，难熔金属钨有望取代铜成为下一代的半导体布线金属资料。

钨金属拥有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等机能，钨金属合金拥有低的电阻系数、优良的热不变机能和抗氧化机能。由于钨合金靶材系列薄膜拥有极度良好的机能，近几年来利用量急剧增长，钨金属靶材世界用量已达到400t，随着光伏产业的发展，这种靶材的需要量会越来越大。具行业预测其用量还会有很大的增长，国际太阳能电池市场以100%的速度增长。

金属靶材中的钨靶材特点为，喷涂、烧结后的钨靶,拥有99%的密度甚至更高、均匀通明纹理的直径为100um甚至更幼、含氧20ppm或更少，偏转角力为500Mpa左右的个性

；提高未加工金属粉末的出产，提高烧结的能力，能够使钨靶的成本不变在一个廉价位。烧结后的钨靶密度高，拥有传统的压造烧结步骤所无法达到的高水准的通明框架，并且显著改善了偏转角力，以至颗粒物显著的削减。 

钨靶合金靶材作为物理气相沉积用溅射靶材，在半导体领域用于造作栅电极、衔接布线、扩散反对层等。金属靶材中的钨靶材重要利用于航天、稀土冶炼、电光源、化工设备、医疗器械、冶金机械、熔炼设备、石油、等领域，并且这些市场将来会有更辽阔的市场空间。