背板

靶材和背板美满绑定是溅镀工艺的一个关键环节，从而为溅镀提供最大导热机能和机械强度。为了满足使用者溅镀镀膜的必要， 可能凭据靶材材质的特点或客户的必要，针对特定设备提供全系列背板，对靶材和背板提供高温，低温或粘接绑定服务。靶材背板的合理选择与绑定可能提高靶材的使用寿命以及镀膜的效能，并且还能提高薄膜系数达成率。    

绑定方式 
使用金属铟(Indium)绑定
铟绑定是黏合于蒸镀溅镀靶材及背板的中央。重要绑定资料能够齐全性的；ぷ韪舭胁。金属绑定技术拥有优良的导电及导热性，也可供DC及RF电流所使用。此种绑定可接受温度高达156°C。

Elastomer 材质绑定
这种弹性的绑定技术是拥有专利的，最初是没有法子将金属有效的绑定在金属上。但此种技术这几年有很大的发展，此刻在我司业务上占有相当高的比例。由于铟价值上涨，此种绑定技术是切合成本利益效应的代替规划。因靶材及背板都为耗材，回收铟的这块也比力不切合经济效益。

背板资料：铜、铝、钛，钼，不锈钢等
背板尺寸：2,000 × 1,500 mm
最快备货功夫：1-3天 
绑定覆盖面：≧95%